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晶圆自动检测包装线
本机包括下片机架和检测机架,下片机架的一端设有晶圆放置台;检测机架的一端至另一端依次设有中转取料装置、晶圆转送装置、晶圆检测机、测试取料装置、中转放置台、旋转放料装置,本机能够实现下片后晶圆的全自动检测,不但检测效率提高,且有效确保了晶圆检测过程中晶圆的质量及合格率不受影响。