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石墨舟校准检测一体机

实现正背膜工序石墨舟自动校准功能，且保证石墨舟装配精度，以满足制程工艺、降低碎片率、降低掉片率，提高生产效率

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石墨舟自动拆装机

石墨舟自动拆装机代替了传统的手工化工作，提高生产效率，实现产业自动化。自动拆装舟片、拆装螺母垫片、自动拆装舟杆、拆装隔块、拆装陶瓷套、整舟自动上下料等，保证舟页、石墨隔块匹配度，降低操作复杂性

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石墨舟校准设备

该设备可实现石墨舟校准后自动检测，主要检测整舟变形、舟叶变形、缺少卡点、卡点单边突出、缺少陶瓷环、舟叶上表面缺口与错位等，可兼容不同种类石墨舟。

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硅片装盒机

本机包括主机架台、转盘、机械抓手、装盒机构、夹层配置机构，夹层配置机构用于配置各种不同类型的夹层;转盘用于筛选不同品质的硅片;机械抓手可用于抓取硅片与硅片夹层,实现对硅片的分层;装盒机构可自主完成对分层好的硅片夹紧整理,最终实现装盒。硅片装盒机硅片整理归类效率高,人员依赖性低,具有夹取的硅片完整性好、用途广的优点。

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